2015年6月16至-17日，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（简称“02重大专项”）主管部门——02重大专项实施管理办公室和总体组组织专家对有研总院牵头承担并由有研半导体材料有限公司实施的 “硅材料设备应用工程” 项目进行了正式验收，参会人员包括任务和财务专家组、地方科技主管部门人员，项目责任专家，项目（课题）负责人，项目（课题）任务/财务管理人员，专项实施管理办公室和总体组领导叶甜春总师和王曦院士到会。验收环节包括现场测试、任务验收、财务验收。与会专家一致同意项目及七个课题均通过验收，并评价为“优秀”分数。
